台积电的竞业限制一般是两年。
要联系蒋尚义有诸多渠道,如果是中芯想接触,通过TI的老同事最为稳妥。
若想让他来大陆谈,找一个学术活动的名义直接通过台湾半导体产业协会去邀请最为妥当。
俩人一路聊着挖人的路径,到了12英寸厂区——中芯65nm、甚至是45nm研发的核心阵地,也是张汝京多年心血的重中之重。
陈学兵也是刚知道,中芯可能即将拥有一些45nm的技术。
中芯目前正在跟IBM谈45nm Bulk CMOS的授权,IBM通过一次性授权费+按晶圆数持续提成的方式成熟方案,让这座12英寸厂能够生产一些授权范围内的芯片种类。
这是个包含工艺技术包+配套IP与设计支持的完整授权,有针对45nm逻辑器件的曝光条件,光刻胶选型、显影/蚀刻匹配、套刻精度(Overlay)控制、缺陷管控等流程,能补齐中芯先进逻辑的工艺短板。
这条路线能让中芯快速实现45nm可量产,作为一个技术跳板,完成Know-how。
但是,完全不自主。会长期受限于授权条款,仅能做低功耗逻辑芯片,无法承接高端CPU/GPU、射频、存储、HPC等高毛利订单。
相当于IBM说:“我知道你们有个高端厂子,但一时半会生产不了最优的制程,不如我给你们一套方案参与生产,但是利润得分我们一半,而且你们也不能抢我们的高端生意”。
陈学兵听到这里眉头皱了皱,发现一个关键的逻辑问题。
“你们能通过IBM的授权生产45nm?没有多重曝光技术,你们也能生产45nm?!”
此时正到研发楼前。
张汝京神秘一笑,抬手道:“这是机密,进去说。”
陈总迫不及待。
众人按流程换上防尘服,戴上口罩和发帽,经过风淋室净化后,才踏入洁净度达百级的研发车间。
一进门,巨大的晶圆传送设备正平稳运转,淡蓝色的光刻灯在密闭腔体内闪烁,穿着同款防尘服的工程师们低着头,专注地操作着设备,偶尔低声交流几句技术参数,整个车间只剩下设备运行的轻微嗡鸣。
张汝京走在最前面,让工作人员把领导们带去参观光刻机,而后把陈学兵拉到一边,手指向不远处一台正在调试的设备旁边,那里有一片空置区域,声音透过口罩传来:
“这是我们给ASML引进的193浸没式光刻机预留的区域。”
这话一出,陈总有点震惊了。
“从什么渠道搞来的?瓦森纳协定对这类先进半导体设备有出口限制,中芯可以不遵守?”
张汝京小心地看了看正在参观机器的李市长他们,而后又看向跟着陈学兵的辛梦真。
“这是辛总,以后也是中芯的战友,你直说吧。”陈学兵道。
张汝京这才叹了口气,语气里满是无奈与不易:“哪能不遵守?这台设备能引进来,全靠中芯的国际股东从中斡旋,还有IBM的合同,才勉强通过荷兰方面的出口审批,走的是正规商业采购渠道,不过还得等一项美国特殊许
可批下来,才能启运。”
他顿了顿,又补充:“瓦森纳协定的限制不是绝对的,它更像是一种‘自愿出口管制”,荷兰方面会根据设备用途、采购方背景综合评估,我们当时承诺这台设备仅用于成熟制程研发,再加上外资股东背书,才侥幸获批。”
此时,陈学兵和辛梦真对了个眼神。
“美国特殊许可...不会是VEU吧。”辛梦真第一次开口,问道。
“对,你们知道?”张汝京有些惊奇。
中芯申请这项许可是最近的事情,目前还在准备材料。
此时,俩人口罩下的脸都有了笑容。
“193...你们拿到的是XT1250i还是XT1900?”辛梦真快速追问。
193i,不是ASML一家的专属型号名,而是行业通用技术类别称呼,是193nmArF浸没式光刻机的总称。
“i”是immersion,浸没式。
浸没式是在投影镜头和晶圆之间填充高纯度去离子水,利用水折射率n=1.44,代替空气n=1,从而提高有效数值孔径NA,提升分辨率。
XT:1250是2004ASML的初代193,NA值0.85,是65nm节点的工艺验证和试产机,分辨率、产能、套刻精度都不够45nm量产。
而XT:1900i是今年的高NA升级款,NA值约等于1.35,是45nm量产级主力机。
NA值是光刻机镜头的“眼力值”,数值越大,镜头越厉害,能刻的线就越细。
当然,还要双工件台、光源和环境稳定性的配合。
XT:1900i不仅更新了镜头,还采用了新一代双台,替换了高级照明等。
“是XT1900i。”张汝京给出了肯定的答案,而后打量着辛梦真问道:“辛总...不是陈总的秘书?”
“她是香港DCT光刻...不,DCT医疗的董事长,现在正收购一家香港眼科医疗上市公司,准备研究光学物镜、CT器械,也在申请美国VEU。”
陈学兵有意说漏了嘴,张汝京一下睁大了眼睛。
这事,不需要全说明白,懂的都懂。
“哦……”张汝京恍然,想了半天,深深点头:“是条路子,陈总,之前我一直以为你是财务型投资人,没想到你想得这么深...误会了。”
陈学兵有口罩遮掩,放任自己露出了一丝自得的笑。
VEU,这一步果然没错。
ASML居然会把新型浸没式光刻机卖给中芯国际。
怪不得中芯国际一直能跟在先进世代的屁股后面。
想想也是,ASML现在可以没有EUV的垄断能力,虽然是比日本厂商先进,但没有太大的议价权。
他们也要挣钱完成全面超越。
话说前世中芯国际还下单买了ASML的EUV,合约都签好了,是因为美国的持续施压才取消了交易。
妈的,要是这么想想,如果早点下单...搞好国际关系未尝不是一条路啊,自己瞎研究什么?
但是转念之间,陈学兵又叹了口气。
连他自己都这么想,也怪不得大家都相信所谓的“全球分工”了。
他回想着前世的制裁,脑子里赶紧摒除了这些杂念。
不仅是他,也不止是现在的人。
前世刚制裁的时候人人紧张,可一听到中芯国际能通过多重曝光达到7nm,甚至5nm的极限,大家又安逸下来了。
「原来咱们还能走弯道啊。」
「没关系,咱们有就行,卡不了咱们脖子。」
普通人就要安逸,只要有个理由,就能安逸下来,就能硬气起来。
可是他已经不是普通人了,还能这么想吗?
他能用赢学思维吗?
恐怕得时刻思败才对。
多重曝光和先进封装能做出来7nm,5nm,但只能做到物理上存在,做不到商业存活,技术迭代、长远自主。
坚持研发新型光刻机,为的是守住芯片产业的成本底线、性能底线、技术主权底线。
多重曝光只是续命术,不是进化论。
走这条路,他甚至已经不能从商业上思考问题,而是站在科学伦理和工业效率的角度,思考长期产业竞争,这是道必须坚持到底的战略必答题。
好在,他是个焦虑的人,从重生的第一天,他就在焦虑,安逸的想法并不能缠绕他太久。
重活一世,是为自己的幸福奋斗,还是为了民族进步而担当,这个问题他也早就想好了。
“陈总,你刚才说的'多重曝光才能制造45nm’这句话,其实不完全对,IBM有OPC/RET光学增强技术加上新型193,能通过单次曝光即可完成关键层制程,实际上各家的晶圆厂都有一定的保密技术去完成45nm的量产。”
张汝京忽然开口,说了一些行业内情。
“多重曝光也不是芯片制程升级的唯一方向,甚至不是量产可行的主流方向。”
“主流产业界主要致力于光刻机NA的提升,分辨率增强技术(RET)的深度优化,新材料和器件结构革新,工艺平台整合。”
“多重曝光目前还在实验室阶段,其实只有少量试流片,台积电、英特尔都在用原有成熟的技术生产,多重曝光专利其实也不是台积电垄断,它分布在IBM、ASML、IMEC、台积电、佳能等多家手中,中芯如果要做,也可以
IBM联盟路线,不需要台积电授权,但需要很多研发经费。”
“不过有件事你说得对,多重曝光有可能成为32nm和28nm节点的重要技术,我们应该重视它,IBM的合作限制得太紧,台积电是我们最有可能获得相关技术灵活授权、自主升级的路,我们应该努力争取。”
“我们中芯现在还在为65nm良率达到量产边界而爬坡,近两年能完成这个目标就是大幸,说实话,之前我根本没有想过有人会来跟我讨论下两个节点的问题。”
行内人到底是行內人,掌握的信息更加准确和具体,一开口,说得陈总老脸一红。
居然能在无多重曝光的情况下做出45nm,他在办公室似乎表现得有点过于自信了。
也由此想到,他请教的那些辛梦真从日本请来的专家对先进晶圆厂的生产情况可能不太了解,或者说,他们由于近一两年没有处于最先进的生产系统里,掌握的信息已经过时了。
妈的,半导体这个行业信息太封闭了,要掌握一手情况,光在门外打听还是不行,还得先进圈。
不过,中芯眼界没掉队,这是好消息。
多重曝光路线有选择,也是好消息。
引进193i,是重大好消息。
陈学兵虽然内心狂喜,但面上却眉头深皱:“中芯的发展落后,不仅在制程方面,还在于品类的偏科,你们以往只生产DRAM芯片,不做逻辑芯片,站在先进制程突破和技术能力沉淀、打破海外封锁上,DRAM带动效果很
弱,不能光靠中低端来填产线啊....中芯以后要迈上高端生产路线。
DRAM存储对工艺集成和器件设计的要求低,它有一套模板,代工需求大,生产也简单,过去的中芯就靠这个存活。
这样的芯片卡不了脖子的,能买。
而CPU和GPU就不好说了。
从目前来看,CPU才是先进制程的终极应用场景,工艺要求复杂且高,能锻炼全工艺平台能力。
先进制程也往往供应着高端的逻辑芯片,不做CPU,GPU,哪有动力往先进制程研发?
此时,张汝京却笑了一声。
“过去我们哪有条件做逻辑芯片,我们工艺节点跟不上,技术积累也不够,做出来的CPU没人要啊,我们只能吃到一些DRAM外包订单,逻辑芯片我们也做,都是低端家电MCU,简单的控制芯片之类。
“不过现在,已经好多了,这还要多亏了展讯!
“最近一年,展讯给了我们不少专用逻辑芯片(DSP)订单,现在又加入了CPU在内的SOC整合,我们在逻辑芯片制造上的突破很大,也在力求转型,正打算把深硅蚀刻机、大容量薄膜沉积设备等DRAM专用设备替换量降
低,增加逻辑芯片所需的原子层刻蚀机、高精度离子注入机、高均匀性CMP设备等等。
“我们眼前这条线,就打算打造为逻辑芯片研发线,单独配置高端设备,避免与DRAM产线混用导致的工艺污染和参数干扰,只要一到两年,月产能应该能达到2000片!”
张汝京说的2000片,是12英寸晶圆。
一片晶圆能切出几百颗CPU的,具体几百,得看芯片大小,工艺和良率。
那就是数十万颗CPU芯片了。
“65nm?”陈学兵问道。
“嗯,再往下...确实很难,如果研发多重曝光技术,完成工业化路径,或许能帮我们再进一步。”
张汝京说完,叹道:“我觉得你的思路没问题,所以如果你真的能跟台积电谈出合适的条件,我愿意让位。”
他的态度转变,不仅来自于陈学兵今天的实力展示,还有一路上聊过来,发现了陈学兵身上那种不顾一切往高端冲的决心。
这个年轻人有资源也有冲劲,说不定真的能带给中芯新的希望。
陈学兵此时心里也舒适了。
“感谢张打下了这些地基,感谢。”
他伸手与张汝京相握,深情地晃了晃。
“从现在开始,中芯的研发部要All in逻辑芯片,订单和利润率我来给你保证,DRAM产能,要逐步下放给其他国内厂家。”
"..."
张汝京迟疑,感觉这位陈总还是缺一个邱慈云。
“你放心。”陈学兵笑道:“逻辑芯片不是只有CPU,我们做逻辑芯片也不是只为了做逻辑芯片,是锻炼能力,高端产能你尽管发展好了,钱我来给。”
“额...可是193我们只有一台啊,其他厂家都在ASML排队,我们暂时也拿不到更多了,不能靠一台光刻机养一个中芯吧。”
“……”陈学兵憋了口气:“一台193多少钱?”
“3300万美元,这是裸机价,加上掩膜,光刻胶,工艺包,安装调试,备件,培训等,大概还要1000万美元才能投入生产。”
“再想想办法,加价,买到第二台,三台最好。”
“陈总,你这是...不考虑成本啊,光刻机最多两三年就要升级换代一次,同型号微迭代一年一次,怎么禁得住这么买?”
“想办法跟ASML签长期意向,拿到优先产能,钱的事我给你搞定,第一笔资金国庆之内就会到账。”
陈总悠悠说道:“我也就有点钱了,尽管花吧。’
参观出来,送走领导。
陈学兵思绪复杂。
情况远比他想的更好,但是仔细想想,要不要掐断中国半导体的命脉,似乎也只是老美的一句话而已。
利益平衡和视觉麻痹是接下来做事的关键。
在这个层面之下,又要争分夺秒,疯狂冲刺。
“这两天你就可以回去了,做你该做的事情。”陈总对辛总说道。
虽然对有女朋友的日子有点依依不舍,但DCT那边同样要把握机会多做事情。
辛梦真却摇了摇头:“台积电官司的事情我已经了解了,我来帮你接洽美国团队吧,还有挖梁孟松的事情,你让我参与一下前期工作,等任颖回来,我来跟她交接。”
陈学兵笑了起来:“也行,那你想待几天就待几天。”
这些工作,对DCT来说亦是以后将要面对的事情。
他这段时间带着梦真接触这些,就是让她有一个明晰的思路,方便回去组建团队。
看来她已经悟到了。
辛梦真见人都走了,主动挽住陈学兵的胳膊。
“下午我们去老正兴打包些菜回家吃吧?福州路有一家,正好离公司不远。”
这句话把陈学兵的思绪拉回人间烟火,不禁笑道:“心情这么好,怎么,来一趟中芯,有什么想法了?”
辛梦真唇角微微扬起:“就是觉得...这么长时间都在孤军奋战,忽然看到前面有领头羊在跑,挺好的,感觉看得到希望了。”
陈总闻言畅然而笑。
“咱们也得好好干,让后面的人看得到我们。”